基础信息

标准号：GB/T 32643-2016发布日期：2016-04-25实施日期：2016-11-01标准类别：方法中国标准分类号：L90国际标准分类号：31-030 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

彩虹集团公司中国电子技术标准化研究院

起草人

黄宁歌裴会川杨万来王香李霜

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