基础信息

标准号：GB/T 31985-2015发布日期：2015-09-11实施日期：2016-05-01标准类别：产品中国标准分类号：L90国际标准分类号：31-030 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

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起草人

程中广冷青松单演炎吴建国鲍军

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