基础信息

标准号：GB/T 5838.2-2015发布日期：2015-05-15实施日期：2016-01-01全部代替标准：GB/T 4073-1996标准类别：基础中国标准分类号：L90国际标准分类号：31-030 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

彩虹集团公司中国电子技术标准化研究院

起草人

黄宁歌张东宏裴会川庄卫东

相近标准(计划)

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