基础信息
标准号:GB/T 5838.3-2015发布日期:2015-05-15实施日期:2016-01-01全部代替标准:GB/T 4070-1996标准类别:基础中国标准分类号:L90国际标准分类号:31-030 归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门:国家标准委
起草单位
彩虹集团公司中国电子技术标准化研究院
起草人
张东宏黄宁歌裴会川庄卫东
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