基础信息

标准号：GB/T 5838.41-2015发布日期：2015-05-15实施日期：2016-01-01全部代替标准：GB/T 10311-1988,GB/T 10312-1988,GB/T 10310-1988标准类别：基础中国标准分类号：L90国际标准分类号：31-030 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

信息产业部专用材料质量监督检验中心中国电子技术标准化研究院中国电子科技集团公司第四十六研究所

起草人

何秀坤段曙光裴会川

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