基础信息

标准号：GB/T 30869-2014发布日期：2014-07-24实施日期：2015-02-01标准类别：方法中国标准分类号：H21国际标准分类号：77.040 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门：国家标准委

起草单位

东方电气集团峨嵋半导体材料有限公司乐山新天源太阳能科技有限公司有研半导体材料股份有限公司青洋电子材料有限公司

起草人

何紫军冯地直陈琳荆旭华程宇黎阳刘卓

相近标准(计划)

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