基础信息

标准号：GB/T 30453-2013发布日期：2013-12-31实施日期：2014-10-01标准类别：基础中国标准分类号：H80国际标准分类号：29.045 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

有研半导体材料股份有限公司南京国盛电子有限公司万向硅峰电子股份有限公司陕西天宏硅材料有限责任公司东方电气集团峨眉半导体材料有限公司杭州海纳半导体有公司四川新光硅业科技有限责任公司中国有色金属工业标准化计量质量研究所

起草人

孙燕曹孜谭卫东黄笑容翟富义杨旭

相近标准(计划)

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