基础信息

标准号：GB/T 12963-2014发布日期：2014-12-31实施日期：2015-09-01废止日期：2023-07-01全部代替标准：GB/T 12963-2009标准类别：产品中国标准分类号：H82国际标准分类号：29.045 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

峨嵋半导体材料研究所有研半导体材料股份有限公司新特能源股份有限公司四川新光硅业科技有限责任公司江苏中能硅业科技发展有限公司洛阳中硅高科技有限公司

起草人

詹科杨旭梁洪孙燕种娜黎亚文刘晓霞

相近标准(计划)

GB/T 12963-2022 电子级多晶硅GB/T 37049-2018 电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定电感耦合等离子体质谱法20231180-T-469 电子级磷酸20232463-T-469 电子级四氯化钛20232465-T-469 电子级四甲基硅烷20232462-T-469 电子级八甲基环四硅氧烷20231182-T-469 电子级四（二甲氨基）钛20231195-T-469 电子级五（二甲氨基）钽20231185-T-469 电子级N-甲基-2-吡咯烷酮GB/T 41881-2022 电子级硫酸