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半导体生产设施电磁兼容性要求

基础信息

标准号:GB/T 30116-2013发布日期:2013-12-17实施日期:2014-04-15标准类别:基础中国标准分类号:L95归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门:国家标准委

起草单位

工业和信息化部电子工业标准化研究院安徽鑫阳电子有限公司

起草人

黄英华谭建国钟华冯亚彬刘军周历群

相近标准(计划)

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