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用于先进集成电路光刻工艺综合评估的图形规范

基础信息

标准号:GB/T 29844-2013发布日期:2013-11-12实施日期:2014-04-15标准类别:基础中国标准分类号:L90国际标准分类号:31.030 归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门:国家标准委

起草单位

上海华虹NEC电子有限公司

起草人

王雷伍强朱骏陈宝钦

相近标准(计划)

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