基础信息
标准号:GB/T 29056-2012发布日期:2012-12-31实施日期:2013-10-01标准类别:方法中国标准分类号:L90国际标准分类号:31-030 归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门:国家标准委
起草单位
南京中锗科技股份有限公司南京大学国家863计划新材料MO源研究开发中心南京大学现代分析中心
起草人
郑华荣刘新军黄和明陈逸君龚磊荣张莉萍
相近标准(计划)
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