基础信息

标准号：GB/T 26571-2011发布日期：2011-06-16实施日期：2011-11-01标准类别：基础中国标准分类号：G08国际标准分类号：71.040.10 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

西南化工研究设计院

起草人

周朋云

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