基础信息
标准号:GB/T 26570.1-2011发布日期:2011-06-16实施日期:2011-11-01标准类别:方法中国标准分类号:G86国际标准分类号:71.040.40 归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门:国家标准委
起草单位
上海计量测试技术研究院西南化工研究设计院
起草人
陈鹰周朋云
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