基础信息

标准号：GB/T 26251-2010发布日期：2011-01-14实施日期：2011-05-01标准类别：产品中国标准分类号：G86国际标准分类号：71.100.20 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会主管部门：国家标准委

起草单位

中核红华特种气体股份有限公司山东锐华氟业有限公司西南化工研究设计院上海华爱色谱分析技术有限公司核工业理化工程研究院

起草人

杜伟华贺国武李建浩李春晓

相近标准(计划)

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