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半导体设备可靠性、可用性和维修性(RAM)的定义和测量规范

基础信息

标准号:GB/T 24468-2009发布日期:2009-10-15实施日期:2009-12-01标准类别:基础中国标准分类号:L85国际标准分类号:17.040.30 归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门:国家标准委

采标情况

本标准修改采用其他国际标准:SEMI E10-0304:2004。采标中文名称:设备可靠性、可用性和维修性(RAM)的定义和测量规范。

起草单位

中国电子技术标准化研究所

起草人

黄英华刘筠张建勇蒋迪宝

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