基础信息

标准号：GB/T 17864-1999发布日期：1999-09-13实施日期：2000-06-01标准类别：方法中国标准分类号：L56国际标准分类号：31.200 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分会主管部门：国家标准委

采标情况

本标准等同采用其他国际标准：SEMI P24:1994。采标中文名称:。

起草单位

中国科学院微电子中心

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