基础信息

标准号：GB/T 16526-1996发布日期：1996-09-09实施日期：1997-05-01标准类别：方法中国标准分类号：L55国际标准分类号：31.200 归口单位：全国集成电路标准化技术委员会执行单位：全国集成电路标准化技术委员会主管部门：工业和信息化部（电子）

采标情况

本标准等效采用其他国际标准：SEMI G24:1989。采标中文名称:。

起草单位

上海无线电七厂

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