基础信息

标准号：GB/T 14113-1993发布日期：1993-01-21实施日期：1993-08-01标准类别：基础中国标准分类号：L55国际标准分类号：31.200 归口单位：全国集成电路标准化技术委员会执行单位：全国集成电路标准化技术委员会主管部门：工业和信息化部（电子）

采标情况

本标准非等效采用其他国际标准：SEMI G9。采标中文名称:。

起草单位

机电部电子标准化所

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