第三方检测中心

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硅片包装

基础信息

标准号:YS/T 28-2015

发布日期:2015-04-30

实施日期:2015-10-01

制修订:修订

代替标准:YS/T 28-1992

中国标准分类号:H80

国际标准分类号:29.045.

技术归口:全国有色金属标准化技术委员会

批准发布部门:工业和信息化部

行业分类:制造业

标准类别:基础标准

备案信息

备案号:50405-2015

备案日期:2015-07-08

备案公告:2015年第7号(总第187号)

适用范围

本标准适用于硅单晶抛光片、外延片、SOI等硅片的洁净包装、硅单晶研磨片(简称硅研磨片)包装和太阳能电池用硅片包装,使其在运输、贮存过程中避免再次沾污和破碎。

起草单位

杭州海纳半导体有限公司、有研新材料股份有限公司、南京国盛电子有限公司等

起草人

王飞尧、孙燕、马林宝等