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半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的红外吸收测试方法

基础信息

标准号:GB/T 19199-2003发布日期:2003-06-16实施日期:2004-01-01废止日期:2016-07-01标准类别:方法中国标准分类号:H82国际标准分类号:29.045 归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门:国家标准委

起草单位

中国电子科技集团公司第四十六研究所

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