基础信息

标准号：GB/T 12964-2003发布日期：2003-06-16实施日期：2004-01-01废止日期：2019-06-01全部代替标准：GB/T 12964-1996标准类别：产品中国标准分类号：H82国际标准分类号：29.045 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

北京有色金属研究总院

相近标准(计划)

20250822-T-469 200mm碳化硅单晶抛光片20240494-T-469 碳化硅单晶抛光片堆垛层错测试方法SJ/T 11502-2015 碳化硅单晶抛光片规范GB/T 12964-2018 硅单晶抛光片GB/T 30656-2023 碳化硅单晶抛光片GB/T 29506-2013 300mm 硅单晶抛光片SJ/T 11504-2015 碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法SJ/T 11503-2015 碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的测试方法GB/T 31351-2014 碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法GB/T 41325-2022 集成电路用低密度晶体原生凹坑硅单晶抛光片