基础信息

标准号：GB/T 17170-1997发布日期：1997-12-22实施日期：1998-08-01废止日期：2016-07-01标准类别：方法中国标准分类号：H21国际标准分类号：29.045 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

电子工业部第四十六研究所

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