基础信息

标准号：GB/T 12963-1996发布日期：1996-11-04实施日期：1997-04-01废止日期：2010-06-01标准类别：产品中国标准分类号：H82国际标准分类号：29.045 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

采标情况

本标准等效采用ITU国际标准：SEMI M16:1989。采标中文名称:。

起草单位

峨眉半导体材料厂

相近标准(计划)

20231109-T-469 太阳能级硅多晶YS/T 1061-2024 硅多晶用硅芯YS/T 724-2016 多晶硅用硅粉YS/T 1710-2024 硅多晶行业能源管理体系实施指南YS/T 1061-2015 改良西门子法多晶硅用硅芯YS/T 1709-2024 硅多晶企业能源管理中心技术规范YS/T 14-2015 异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法YS/T 1708-2024 温室气体排放核算与报告要求 硅多晶生产企业YS/T 983-2024 硅多晶还原炉尾气成分的测定 气相色谱法DB53/T 499-2013 多晶硅用三氯氢硅