基础信息

标准号：GB/T 15861-1995发布日期：1995-12-22实施日期：1996-08-01废止日期：2013-02-15标准类别：产品中国标准分类号：L97国际标准分类号：31.200 归口单位：工业和信息化部（电子）执行单位：工业和信息化部（电子）主管部门：工业和信息化部（电子）

起草单位

电子部长沙半导体工艺设备所

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