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离子束蚀刻机通用规范

基础信息

标准号:GB/T 15861-2012发布日期:2012-11-05实施日期:2013-02-15全部代替标准:GB/T 15861-1995标准类别:产品中国标准分类号:L97归口单位:工业和信息化部(电子)执行单位:工业和信息化部(电子)主管部门:工业和信息化部(电子)

起草单位

中国电子科技集团公司第四十八研究所

起草人

陈特超周大良

相近标准(计划)

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