基础信息
标准号:GB/T 4058-1995发布日期:1995-04-18实施日期:1995-12-01废止日期:2010-06-01标准类别:方法中国标准分类号:H26国际标准分类号:77.040.30 归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门:国家标准委
采标情况
本标准等效采用ITU国际标准:ASTM F47:1988。采标中文名称:。
起草单位
峨嵋半导体材料厂
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