基础信息
标准号:GB/T 34213-2017发布日期:2017-09-07实施日期:2018-06-01废止日期:2024-03-01标准类别:产品中国标准分类号:H61国际标准分类号:77.120.10 归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门:国家标准委
起草单位
四川鑫通新材料有限责任公司四川鑫炬新兴新光源材料有限公司江苏协鑫软控设备科技发展有限公司东莞市技顶电子科技有限公司
起草人
钱幼平熊洲黄修康侯龙超唐大林薛抗美张强
相近标准(计划)
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