基础信息

标准号：GB/T 34213-2023发布日期：2023-08-06实施日期：2024-03-01全部代替标准：GB/T 34213-2017标准类别：产品中国标准分类号：H61国际标准分类号：77.120.10 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门：国家标准委

起草单位

山东恒晶新材料有限公司有色金属技术经济研究院有限责任公司天通银厦新材料有限公司青岛华芯晶电科技有限公司浙江晶瑞电子材料有限公司宁夏晶环新材料科技有限公司宁夏鑫晶盛电子材料有限公司

起草人

许永宾田维达段斌斌石刚张凤明范以达贺东江许士铭康森胡飞姜超肖迪

相近标准(计划)

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