基础信息

标准号：GB/T 14142-1993发布日期：1993-02-06实施日期：1993-10-01废止日期：2018-04-01标准类别：方法中国标准分类号：H26归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

采标情况

本标准非等效采用ITU国际标准：ASTM F80:1985。采标中文名称:。

起草单位

峨眉半导体材料研究所

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