基础信息

标准号：GB/T 26069-2010发布日期：2011-01-10实施日期：2011-10-01废止日期：2022-10-01标准类别：产品中国标准分类号：H80国际标准分类号：29.045 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

万向硅峰电子股份有限公司宁波立立电子股份有限公司和杭州海纳半导体有限公司有研半导体材料股份公司

起草人

楼春兰孙燕王飞尧黄笑容朱兴萍宫龙飞方强

相近标准(计划)

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