基础信息

标准号：GB/T 26069-2022发布日期：2022-03-09实施日期：2022-10-01全部代替标准：GB/T 26069-2010标准类别：产品中国标准分类号：H82国际标准分类号：29.045 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门：国家标准委

起草单位

有研半导体硅材料股份公司浙江众晶电子有限公司开化县检验检测研究院浙江金瑞泓科技股份有限公司中环领先半导体材料有限公司山东有研半导体材料有限公司洛阳鸿泰半导体有限公司浙江中晶科技股份有限公司浙江海纳半导体有限公司

起草人

孙燕宁永铎黄笑容王振国由佰玲楼春兰陈锋张海英潘金平

相近标准(计划)

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