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表面化学分析 扫描探针显微术 用于二维掺杂物成像等用途的电扫描探针显微镜(ESPM,如SSRM和SCM)空间分辨的定义和校准

基础信息

标准号:GB/T 43661-2024发布日期:2024-03-15实施日期:2024-10-01标准类别:方法中国标准分类号:G04国际标准分类号:71.040.40 归口单位:全国表面化学分析标准化技术委员会执行单位:全国表面化学分析标准化技术委员会主管部门:中国科学院

采标情况

本标准等同采用ISO国际标准:ISO 13083:2015。采标中文名称:表面化学分析 扫描探针显微术 用于二维掺杂物成像等用途的电扫描探针显微镜(ESPM,如SSRM和SCM)空间分辨的定义和校准。

起草单位

中山大学暨南大学广东工业大学

起草人

龚力杨慕紫谢伟广谢方艳陈瑜张浩丁喜冬陈建

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