基础信息

标准号：GB/T 24582-2009发布日期：2009-10-30实施日期：2010-06-01废止日期：2024-03-01标准类别：方法中国标准分类号：H80国际标准分类号：29.045 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门：国家标准委

起草单位

新光硅业科技责任有限公司

起草人

王波过惠芬敖细平吴道荣梁洪

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