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多晶硅表面金属杂质含量测定 酸浸取-电感耦合等离子体质谱法

基础信息

标准号:GB/T 24582-2023发布日期:2023-08-06实施日期:2024-03-01全部代替标准:GB/T 24582-2009标准类别:方法中国标准分类号:H17国际标准分类号:77.040 归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门:国家标准委

起草单位

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起草人

尹东林郑连基蔡延国李素青刘文明薛心禄徐岩曹岩德赵培芝万首正刘海月王春明刘军魏东亮侯海波田洪先王彬于生海姜士兵邱艳梅赵娟龙申梅桂

相近标准(计划)

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