基础信息
标准号:GB/T 10117-2009发布日期:2009-10-30实施日期:2010-06-01废止日期:2022-07-01全部代替标准:GB/T 10117-1988标准类别:产品中国标准分类号:H62国际标准分类号:77.150.99 归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门:国家标准委
起草单位
峨嵋半导体材料厂
起草人
王炎蒋蓉
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