基础信息

标准号：GB/T 10117-2021发布日期：2021-12-31实施日期：2022-07-01全部代替标准：GB/T 10117-2009标准类别：产品中国标准分类号：H62国际标准分类号：77.150.99 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门：国家标准委

起草单位

峨眉山市峨半高纯材料有限公司广东先导稀材股份有限公司云南临沧鑫圆锗业股份有限公司峨嵋半导体材料研究所有研国晶辉新材料有限公司江苏秦烯新材料有限公司

起草人

张程朱君曾洪肖伟微乐卫华黄文文何建军黎亚文雷聪李强张胜柴晨普世坤

相近标准(计划)

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