基础信息

标准号：GB/T 40563-2021发布日期：2021-10-11实施日期：2022-05-01标准类别：产品中国标准分类号：L90国际标准分类号：31.030 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

有研稀土新材料股份有限公司河北雄安稀土功能材料创新中心有限公司佛山市国星光电股份有限公司中国科学院福建物质结构研究所有研稀土高技术有限公司深圳市瑞丰光电子股份有限公司深圳市聚飞光电股份有限公司

起草人

刘荣辉刘元红谢志国李运华马小乐宋振华陈观通裴小明朱浩淼赵漫王恒薛原

相近标准(计划)

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