基础信息

标准号：GB/T 40110-2021发布日期：2021-05-21实施日期：2021-12-01标准类别：方法中国标准分类号：G04国际标准分类号：71.040.40 归口单位：全国表面化学分析标准化技术委员会执行单位：全国表面化学分析标准化技术委员会主管部门：中国科学院

采标情况

本标准等同采用ISO国际标准：ISO 14706:2014。采标中文名称:表面化学分析全反射X射线荧光光谱法（TXRF）测定硅片表面元素污染。

起草单位

中国计量科学研究院华南理工大学

起草人

王海张艾蕊徐昕荣范燕王梅玲任丹华

相近标准(计划)

GB/T 30701-2014 表面化学分析硅片工作标准样品表面元素的化学收集方法和全反射X射线荧光光谱法（TXRF）测定GB/T 24578-2024 半导体晶片表面金属沾污的测定全反射X射线荧光光谱法GB/T 42360-2023 表面化学分析水的全反射X射线荧光光谱分析YS/T 703-2014 石灰石化学分析方法 元素含量的测定 X射线荧光光谱法YS/T 806-2020 铝及铝合金化学分析方法 元素含量的测定 X射线荧光光谱法YS/T 739.1-2023 铝电解质化学分析方法 第1部分：元素含量的测定 X射线荧光光谱法YS/T 575.23-2021 铝土矿石化学分析方法 第23部分：元素含量的测定 X射线荧光光谱法YS/T 575.23-2009 铝土矿石化学分析方法 第23部分：X射线荧光光谱法测定元素含量20232363-T-469 表面化学分析X射线光电子能谱均匀材料中元素检测限的评估和报告YS/T 273.11-2023 冰晶石化学分析方法和物理性能测定方法 第11部分：元素含量的测定 X射线荧光光谱法