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集成电路用高纯铜合金靶材

基础信息

标准号:GB/T 39159-2020发布日期:2020-11-19实施日期:2021-10-01标准类别:产品中国标准分类号:H62国际标准分类号:77.150.30 归口单位:全国有色金属标准化技术委员会执行单位:全国有色金属标准化技术委员会重金属分会主管部门:中国有色金属工业协会

起草单位

宁波江丰电子材料股份有限公司宁波微泰真空技术有限公司有研亿金新材料有限公司

起草人

曹欢欢袁海军曾浩边逸军贺昕慕二龙姚力军王学泽钟伟华周友平高岩江伟龙

相近标准(计划)

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