基础信息

标准号：GB/T 39144-2020发布日期：2020-10-11实施日期：2021-09-01标准类别：方法中国标准分类号：H17国际标准分类号：77.040 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门：国家标准委

起草单位

中国电子科技集团公司第四十六研究所东莞市中镓半导体科技有限公司厦门市科力电子有限公司北京聚睿众邦科技有限公司有色金属技术经济研究院

起草人

马农农何友琴何烜坤杨素心颜建锋倪青青陈潇刘立娜闫方亮杨丽霞

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