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太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的测定 二次离子质谱法

基础信息

标准号:GB/T 32281-2015发布日期:2015-12-10实施日期:2017-01-01标准类别:方法中国标准分类号:H17国际标准分类号:77.040.30 归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门:国家标准委

起草单位

江苏协鑫硅材料科技发展有限公司中铝宁夏能源集团有限公司洛阳鸿泰半导体有限公司北京合能阳光新能源技术有限公司宁夏银星多晶硅有限责任公司新特能源股份有限公司

起草人

薛抗美夏根平范占军蒋建国王泽林宋高杰肖宗杰盛之林林清香徐自亮刘国霞

相近标准(计划)

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