基础信息

标准号：GB/T 29848-2018发布日期：2018-12-28实施日期：2019-04-01全部代替标准：GB/T 29848-2013标准类别：产品中国标准分类号：L90国际标准分类号：31.030 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

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起草人

周光大桑燕何发林勾宪芳冯亚彬卢刚刘亚峰倪丹卿鲍军裴会川单演炎许涛侯宏兵全杨

相近标准(计划)

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