基础信息

标准号：GB/T 29848-2013发布日期：2013-11-12实施日期：2014-04-15废止日期：2019-04-01标准类别：产品中国标准分类号：L90国际标准分类号：31.030 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

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起草人

林建华周光大陈祥杨楚峰侯宏兵桑燕

相近标准(计划)

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