基础信息

标准号：GB/T 25076-2018发布日期：2018-09-17实施日期：2019-06-01全部代替标准：GB/T 25076-2010标准类别：产品中国标准分类号：H82国际标准分类号：29.045 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门：国家标准委

起草单位

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起草人

孙燕张果虎刘培东宫龙飞李洋蒋建国楼春兰杨素心邓浩李建弘张鹏

相近标准(计划)

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