基础信息

标准号：GB/T 33763-2017发布日期：2017-05-31实施日期：2017-12-01标准类别：方法中国标准分类号：H25国际标准分类号：77.040 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

江苏协鑫软控设备科技发展有限公司深圳市中安测标准技术有限公司中国科学院上海光学精密机械研究所

起草人

薛抗美黄修康田野张永波杭寅尹继刚张毅

相近标准(计划)

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