基础信息
标准号:GB/T 32279-2015发布日期:2015-12-10实施日期:2017-01-01标准类别:基础中国标准分类号:H80国际标准分类号:29.045 归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门:国家标准委
起草单位
万向硅峰电子股份有限公司杭州海纳半导体有限公司有研新材料股份有限公司江苏协鑫硅材料科技发展有限公司浙江省硅材料质量检验中心南京国盛电子有限公司浙江金瑞泓科技股份有限公司中国有色金属工业标准计量质量研究所
起草人
朱兴萍楼春兰赵纪平王飞尧李慎重林清香戴文仙毛卫中马林宝孙燕杨素心邹剑秋
相近标准(计划)
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