基础信息

标准号：GB/T 32277-2015发布日期：2015-12-10实施日期：2017-01-01标准类别：方法中国标准分类号：H17国际标准分类号：29.045 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

乐山乐电天威硅业科技有限责任公司新特能源股份有限公司中国原子能科学研究院

起草人

李智伟张亚东银波邱艳梅张新姚淑

相近标准(计划)

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