基础信息

标准号：GB/T 31854-2015发布日期：2015-07-03实施日期：2016-03-01标准类别：方法中国标准分类号：H82国际标准分类号：29.045 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

信息产业专用材料质量监督检验中心江苏中能硅业科技发展有限公司国家电子功能与辅助材料质量监督检验中心中国电子技术标准化研究院洛阳中硅高科技有限公司天津市环欧半导体材料技术有限公司

起草人

褚连青王奕徐静王鑫何秀坤裴会川冯亚彬

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