基础信息

标准号：GB/T 29852-2013发布日期：2013-11-12实施日期：2014-04-15标准类别：方法中国标准分类号：H82国际标准分类号：29.045 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

信息产业专用材料质量监督检验中心国家电子功能与辅助材料质量监督检验中心中国电子技术标准化研究院天津市环欧半导体材料技术有限公司

起草人

马农农何友琴冯亚彬裴会川王东雪何秀坤

相近标准(计划)

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