基础信息
标准号：GB/T 30654-2014发布日期：2014-12-31实施日期：2015-09-01标准类别：方法中国标准分类号：H21国际标准分类号：77.040.20 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委
起草单位
中国科学院半导体研究所
起草人
孙宝娟赵丽霞李晋闽王军喜曾一平
相近标准(计划)
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